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【商品説明】
【特徴】
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
【仕様】
OF長さ(mm)×ウェハー厚(μm):22.5±2.5×380±25
●製造方法:CZ法
●面方位:100
●OF位置:110
●抵抗値:0.1~100Ω・cm
●パーティクル:0.3μm、10個以下
●サイズ(インチ)×伝導型:3×N型
●入数:1箱(25枚)
●特注対応品について
(1)方位(切断角度)、OF位置角度公差、厚み公差を、より小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
(2)多様な形状加工と表面処理が可能です(例:ざくり加工品、穴あけ加工品、酸化膜付きウェハー)。
(3)ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
(4)8インチ、12インチに関しては随時お問い合わせください。
●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
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